低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空抽氣機組主泵常用無油立式往復真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。
水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使無油立式往復真空泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：
1、選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵；
2、裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；
3、無油立式往復真空泵運用吸水性強的單調劑；
4、運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。